在与小功率全Ａｒ－ＩＣＰ类似的条件下，使用顺序扫描等离子体光谱仪，用Ｓｔａｒｋ加宽法，选择Ｈβ（４８６．１ｎｍ）谱线，测定了空气－氩气混合气冷却ＩＣＰ中在感应线圈上０、２、５、１０ｍｍ处电子密......