批间(Run-to-Run，R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average，EWMA)反馈控制是R2R控......

半导体生产工业的高投入以及生产设备的昂贵使得生产效率的提高对生产商来说至关重要。因此,在当代半导体生产厂中,同一个生产机台......

批间控制广泛应用于半导体制造业。在现代晶圆生产工厂中,一台设备同时生产加工不同类型产品的混合生产模式已经是一种常态。单一......