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永磁场直拉炉相关论文
利用装置环形永磁场的直拉炉(PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体
设计了一种永磁 (钕铁硼 )环形磁场装置代替常规电磁场用于直拉炉生长单晶硅和掺锗单晶硅 (PMCZ法 ) .磁力线呈水平辐射状均匀分布......
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