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氮化钛铌相关论文

脉冲偏压对电弧离子镀TiNbN硬质薄膜相结构的影响

用电弧离子镀设备,在其他工艺参数相同的条件下,通过仅改变脉冲偏压幅值的方法分别沉积TiNbN硬质薄膜,考察脉冲偏压对薄膜相结构的......

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电弧离子镀脉冲偏压硬质薄膜氮化钛铌相结构 Arc ion plating Pulsed bias Hard coating （Ti Nb）N Pha

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