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槽型悬臂梁相关论文

基于槽式悬臂梁结构的微质量传感器设计

压电式微质量传感器的测试精度直接依赖于结构频率对质量变化的灵敏程度。本文利用对称槽型梁和压电薄膜组成的对称敏感结构,提出......

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质量传感器槽型悬臂梁压电薄膜灵敏度 mass sensor I-shaped cross-section cantilever piezoelectric

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