椭球谐振腔相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

椭球谐振腔相关论文

环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜

介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的......

期刊

金刚石膜化学气相沉积高功率氮杂质椭球谐振腔

新型高功率MPCVD装置研制与金刚石膜高效沉积

高功率MPCVD技术是高效率地制备大面积、高品质金刚石膜的有效方法,因为高的微波输入功率可以激发富含H原子和多种含碳基团的高密......

学位

金刚石膜 MPCVD 微波电场椭球谐振腔 915MHz

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