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标准硅球相关论文
标准硅球直径精密测量系统的设计
基于多光束干涉的基本原理,导出了使用斐索干涉仪测量硅球直径多光束干涉光强分布的精确公式.针对目前的硅球直径测量系统忽略了多......
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计量学
标准硅球
固体密度基准
斐索干涉仪
多光束干涉
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