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微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中。为此,设计......
硅微压传感器是采用集成电路工艺和微机械加工工艺制造的.在1kPa或更小压力下,为了获得较高的灵敏度,通常都采用较复杂的弹性体结......
微机械加工工艺是制作微型三维结构的新技术,在硅传感器的研制中,用该工艺腐蚀敏感膜片。作者对微机械加工工艺的多种腐蚀液进行了研......
对于深海压力探测,必须既能承受和测量深海大压力,又能测量微小的压力变化,这是海洋压力传感器所面临的大测量范围与高灵敏度之间的难......
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的......
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜......