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敏感膜固定化相关论文

基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器

阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理;介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺;给出并分析了传感器的......

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化学毒剂声表面波传感器芯片敏感膜固定化 chemical toxic SAW（ surface acoustic wave） sensor chi

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