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LEC法GaSb晶体生长数值模拟研究
采用有限元模拟软件对液封直拉(LEC)法生长锑化镓晶体过程进行计算机建模。模拟分析了晶体旋转、坩埚旋转及隔热屏等因素对GaSb固-液......
期刊
液封直拉法(LEC)
固-液界面
强制对流
液封剂
放肩角度
隔热屏
坩埚位置
liquid encapsulated Czochralski(LEC) sim
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