MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)惯性开关,又称为振动阈值传感器、加速度开关等。近年来随着无线传感网络的快速发展,MEMS......

MEMS惯性开关可以同时实现传感和执行的功能,其工作原理是:当它感应到超过阈值的加速度时,可动电极(通常是悬空质量块)向固定电极......