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挠度行为相关论文
真空量子效应力、静电力和残余应力联合作用下的微米/纳米微机电系统可靠性分析
由于微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)尺寸方面的特点和制造方面的原因,当对其施加一静电场时,它除了受到静电力外还不可避免地受到真......
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CASIMIR力
静电力
残余应力
薄膜
挠度行为
Casimir force
electrostatic force
residual stresses
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