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扭臂式静电微驱动器的pull-in现象分析
本文从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pull-in现象的产生条件并给出公式化结果,讨论了器件的几何结构参数对......
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一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析
基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-......
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