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微波化学气相沉积相关论文
微波CVD方法在Ar-CO2-CH4体系中沉积超纳米金刚石薄膜(英文)
采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制......
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