微杠杆机构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现

针对 MEMS 复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法(GA)与有限元方法(FE)联合的......

会议

微机电系统柔性机构微杠杆机构有限元法遗传算法

MEMS谐振式加速度计灵敏度提升与量程自适应机制研究

MEMS加速度计具有体积小,重量轻,功耗低,成本低和性能可靠等优势,作为惯性导航系统的核心元件,MEMS加速度计已被广泛应用于消费电......

学位

谐振式加速度计微杠杆机构双轴加速度测量双工模式倾角测量高阶模态谐振器扰动力敏感机理

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