微孔阵列模板相关硕士博士期刊学术论文

本文研究了一种电子束辐照高分子薄膜制备微孔阵列模板的方法。我们通过机械钻孔或激光打孔法制备多孔铅掩膜，用电子束辐照覆盖有多......