介绍了ULSI硅衬底的抛光工艺,并对其抛光机理进行了理论分析。通过对抛光液循环使用过程中CMP速率稳定性及其影响因素进行深入系统......

介绍了００Ｃｒ２５ＮｉＭｏ２Ｎ双相（Ａ＋Ｆ）钢制甲铵泵柱塞与阀座，经过循环抛光硫氮碳共渗处理，渗层度为（９０＋１００）μｍ，显微硬度为（６８０－９２０）ＨＶ０．０５。经装机试验，寿命达到１年。比进口镀铬件提高１倍，比......