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平动效应相关论文
大量程闭环MEMS加速度计非线性分析与优化法
为研究大量程翘翘板摆式闭环MEMS加速度计系统的输出非线性,分别从质量块受力不平衡所产生的平动效应以及电路零位引起质量块闭环......
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大量程
MEMS加速度计
非线性
平动效应
闭环平衡位置
large range MEMS accelerometer nonlinearity transla
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