结合岛膜结构电容式压力传感器高灵敏度和凹槽结构电容式压力传感器较好线性度的优点,设计了一种倒岛膜凹槽电容式压力传感器,并根......

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本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。......