小阶梯光栅相关论文
衍射度量术是一类通过对周期性结构远场衍射光特性的分析来精确测量周期性结构形貌参数的方法。这类方法具有非接触、无损伤、快速......
阶梯光栅一般是指具有90°顶角的三角形槽型的闪耀光栅,通常有小阶梯光栅与中阶梯光栅之分。区别于中阶梯光栅,小阶梯光栅线密度较......
离子束刻蚀作为真空技术的一种重要应用,已广泛运用于现代微电子器件和微光学器件的制作工艺中。本文结合反应离子束刻蚀与全息光......