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对靶磁控溅射系统相关论文
Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响
在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30nm)/Ti(tnm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火。详细研究了Ti衬......
期刊
FePt/Ti颗粒膜
对靶磁控溅射系统
磁记录介质
FePt/Ti granular films
facing-target magnetron sputte
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