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WTi薄膜是集成电路中扩散阻挡层的主要材料之一。随着集成电路的微型化,对WTi薄膜的阻挡性能提出了更高的要求。WTi薄膜的粒子污染......
分别采用两类粉末为原料：一类粉末是将球磨前后的W和钛源Ti或TiH2进行机械混合,另一类粉末是将未球磨的W粉和钛源TiH2粉进行机械合......
