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大面积电极相关论文
静压液浮大面积电致化学抛光试验台研制
电致化学抛光加工是一种新的表面超精密加工方法,该方法通过电化学氧化将抛光液中的电活性中介体氧化成刻蚀剂,对工件进行刻蚀加工......
学位
电致化学抛光
静压支承
微纳间隙
铜
大面积电极
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