基于DMD（数字微镜器件）的步进式投影和扫描光刻是大面积微结构加工中应用最广泛的两种曝光模式,在实现大面积微结构加工时,相邻视场......

　　介绍光刻技术分类及工作原理，国际国内光刻设备研究动态，国际国内差距，分析存在问题；讨论光刻设备涉及的关键技术：紫外和深紫外投影......

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介绍了一种大面积接近、接触式光刻的新方法,通过光源步进拼接扫描提供一个高均匀度的大面积的照明光源.主要论述了小面积扫描单元......