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多层难熔金属相关论文
多层难熔金属的刻蚀工艺技术研究
分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性.研究了用下电极表层为阳极氧化铝的RIE完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属时......
期刊
RIE
多层难熔金属
阳极氧化铝
聚合作用
RIE
Multilayer refractory metals
Anodized A1
Polymeriza
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