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随着微电子行业的快速发展,电子产品不断地向着小型化、高集成度、多功能、低成本的方向迈进。传统的方式是通过减小器件的特征尺......
摘 要:在传统的生物过孔实验中通常使用MEMS(微机电系统)设计制造的单层纳米孔芯片。而随着对生物结构探索的进一步加深,需要多层纳米......