声波谐振器相关论文
针对BarSr1-xTiO3(BST)薄膜FBAR器件,提出一种固态封装型(SMR)体声波谐振器的等效电路模型，建立了纵向声速与机电耦合系数以及介电......
产生高稳定频率控制信号的器件通常要求在谐振模式上具有高Q值.常用的器件有晶体器件,表达声波器件和微波谐振器件等,但是这些器件......
首先推导出了加入材料介质声损耗的一维Mason模型,并利用该模型分析了支持层结构对FBAR器件谐振特性的影响,包括不同支持层材料及......
FBAR微加速度计是微惯性技术与RF MEMS技术交叉的新型电声谐振式微加速度计,可望满足对微加速度计性能、可靠性和可制造性的综合要......
微型压电超声器件具有体积小、能耗低、成本低、集成度和稳定性高等优点，正成为科学研究的热点之一。为研究和发展新型微型超声器件......
高次谐波体声波谐振器(High overtone bulk acoustic resonator，HBAR)与薄膜体声波谐振器(Film bulk acoustic resonator，FBAR)是两......
基于由谐振频率分布提取压电薄膜参数的方法,研究影响高次谐波体声波谐振器(HBAR)谐振频率分布的因素.对多种HBAR进行模拟计算,模......
