啮合间隙分布相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

啮合间隙分布相关论文

一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构

IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的......

期刊

罗茨真空泵型线设计啮合原理直排大气容积利用系数啮合间隙分布 Roots vacuum pump Profile design Gearing ge

看过本文同时还关注