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吸杂工艺相关论文
    太阳能用晶体硅中铁杂质及其磷吸杂研究
    本文采用不同热处理温度(700~1 000℃)引入不同浓度的铁杂质,观察了引铁温度对p型单晶硅(无位错和有位错)有效寿命的影响,并比较了磷......
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    太阳能 晶体硅 铁杂质 单晶硅 有效寿命 多晶硅 吸杂工艺 热处理温度 不同浓度 无位错 沾污 样品 晶界 变温 保温

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