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各向异性反射率相关论文
多层AlGaAs的时间分辨归一化反射率及各向异性反射率谱在线监测及分析
通过光学在线监测技术对多层AlxGa1-xAs样品生长过程中的生长速率与表面结构进行了分析。描述了选取合适探测光子能量的方法并在线......
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