使用光发射谱(OES)对甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积硅薄膜时的等离子体发光基团的空间分布进行了在线监测和研......

瑞典皇家科学院将2008年度诺贝尔化学奖授予美国日籍科学家下村修（Osamu Shimomura）、美国科学家马丁·查非（Martin Chalfie）和美......