双端固支梁相关论文
近年来,随着无线传感网络的快速发展,以及在环境监测、智慧城市、物联网和国家安全等领域的广泛应用,供电问题已成为制约其进一步......
双端固支梁平板电容结构广泛应用于微机械电容式传感器中,传感器的量程与平板电容的吸合有关,因此精确快速地求解电容极板下拉电压......
本文针对衬底弯曲对柔性RF MEMS开关相位特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底的双端固支梁RF MEMS开关相位特性模型,并从软件仿......
近年来,随着MEMS技术、无线传感网络的迅速发展及各种低功耗传感器件的不断涌现。从环境中直接获取振动能并通过机电转换为低功耗......
提出了一种新型的基于SOI材料的亚微米间隙平面电容式谐振器,描述了结构以及工作原理。对谐振器结构进行仿真分析,研究关键工艺,并......
随着微加工技术水平的不断提高，纳机械系统(NEMS)正方兴未艾并吸引了研究人员的广泛关注。目前纳米领域的研究手段很多，借助先进的实......
纳机电系统(NEMS)从微机电系统(MEMS)发展而来,NEMS器件相比MEMS器件具有更高的谐振频率和Q值,更高的灵敏度,更高的集成度,更低的......
MEMS谐振器是一种基于谐振原理的机械式微纳尺度器件。通过机电耦合，实现信号的混频和滤波等功能。采用与集成电路工艺兼容的微机械......
为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的“H”型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振......
介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理，给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式，并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸......
介绍一种压阻式加速度计双端固支梁的结构,并建立其三维实体有限元模型.分析了在惯性载荷作用下的弹性梁的应力及应变,并对弹性结......
介绍了一种微米光栅加速度计及其原理，分析了此加速度计采用的双端固支梁结构的机械性能．利用ANSYS建立其三维实体有限元模型，对在惯......
根据能量法,提出了一种用于分析硅纳米梁静态弯曲的多尺度模型，与传统的连续介质模型相比,该模型考虑了梁厚度方向进入纳米尺度所带......
纺织智能制造是我国纺织工业“十三五”规划的重点纲要之一。纱线张力传感器作为纺织技术中信息获取的关键器件,对全面提升纺织设......
本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器。这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范......
为研究纳米梁的力学特性,采用SOI晶圆制备了硅双端固支梁纳米梁,利用典型的原子力显微镜（AFM）弯曲测试方法测试了硅纳米梁〈100〉晶......
通过理论研究和有限元仿真分析了热效应对两种不同质量块布局的双端固支梁的等效弹簧系数的影响，两种质量块分别布局为质量块与梁对......
为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的"H"型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式......
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加速度传感器是一种重要的传感器,在航空航天、地质勘探、土木结构振动测量等领域有着广阔的应用前景。而光纤珐珀传感器具有抗电......
