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叉指电容器相关论文
CeO2缓冲层对蓝宝石基Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜结构和介电性能的影响
利用磁控溅射法制备CeO2缓冲层,通过脉冲激光沉积法制备Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,在Al2O3(11—02)蓝宝石基片上构架了Pt/BST/CeO2/Al......
期刊
Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜
CeO2缓冲层
蓝宝石衬底
外延薄膜
介电性能
叉指电容器
Ba0.6Sr0.4TiO3 film CeO2 buffer l
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