压电微执行器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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微机电系统（MEMS）中超微质量检测研究

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微机电系统超微量微气动静压轴承激光三角测量压电微执行器

PZT薄膜的Pr掺杂改性研究及其在压电微执行器中的应用

本文分析了PZT材料的电学性能,探究了Pr掺杂对PZT薄膜各项性能的影响,优化了底电极、PZT薄膜和顶电极的图形化工艺,制作了压电微执......

学位

PPZT薄膜溶胶凝胶法 Pt图形化 PZT图形化压电微执行器

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