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压电陶瓷作动器作为新型的功能材料,具有低耗能、定位精准、可靠性高等优势,被广泛应用在机械微操作以及振动控制等领域。但同时存......
近现代以来,精密驱动定位技术在很多高新科技领域得到发展,如微电子技术、流体机械、超精密加工制造、微纳操作及微纳装配、生物技......
压电陶瓷驱动器本身具有的迟滞特性给微纳操纵技术的发展带来了严重影响，为提高压电微定位平台的高精度轨迹跟踪控制，文章首先从PZT......
为减小压电微定位平台的迟滞误差,设计前馈控制器对其进行控制.首先在使所建平台迟滞模型精度达到要求并使各阈值点精度相同的情况......
在现代高精密仪器制造及超精密加工领域中,压电微定位技术占有核心地位。压电陶瓷具有很多传统智能材料所不具备的优势,例如,定位......
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压电陶瓷驱动的微定位平台具有低耗能、驱动力大、定位精度高、响应速度快等优点,目前被广泛应用于高精度微纳米级加工制造领域中......
