压印模具相关论文
由于传统的光刻生产工艺有透镜光学极限性,压印光刻为集成电路的生产提供了一种新思路.在压印光刻中,模具的制造是重点.为了获得高......
在压印光刻中,信息的复制是难点,而模具的制造是信息复制的途径.为了获得高精度的压印模具,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂......
电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战。提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8......
