半系统法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

半系统法相关论文

化学机械抛光混合润滑行为的数值算法研究

化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)被广泛应用于集成电路(Integrated Circuit,简称IC)的制造过程中。为了提升......

学位

化学机械抛光混合润滑子结构法半系统法全系统法

点接触混合润滑的数值求解方法

基于半系统法的统一Reynolds方程，对点接触混合润滑进行数值模拟。在流体润滑区，采用Reynolds方程求解流体压力，在固体接触区采用简化......

期刊

半系统法混合润滑点接触渐进网格加密算法

看过本文同时还关注