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摘要：基于显微白光干涉术，利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图，并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法......
白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中，光源的光谱宽度及扫描步长一定时，选择合适的算法对干涉信号进......
