刻线边缘粗糙度相关硕士博士期刊学术论文

刻线边缘粗糙度相关论文

分析了现有线边缘粗糙度（Line Edge Roughness,LER）表征参数的不足,针对二维LER的表征参数信息量缺失,提出了基于子波中面的LER参数......

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