刚柔耦合定位平台相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

刚柔耦合定位平台相关论文

刚柔耦合定位平台系统辨识和模型预测控制研究

随着新技术浪潮席卷全球,微电子制造产业已经成为当今全球经济发展的经济增长点,但我国的微电子制造装备技术远远落后于发达国家。......

学位

刚柔耦合定位平台系统辨识模型预测控制扩张状态观测器

刚柔耦合定位平台结构-运动-控制一体化建模

针对微电子制造行业等领域中的长行程高精度定位问题，提出了一种刚柔耦合定位平台，并建立了其结构-运动-控制一体化动力学仿真模型。......

期刊

刚柔耦合定位平台动力学结构设计运动规划控制系统

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