切割纹相关论文
采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1:3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产......
以金刚线切割多晶硅为原料,研究不同纳米金属催化剂(银、铜)辅助化学刻蚀对纳米结构引入及多晶硅片表面制绒效果的影响。研究结果......
采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1：3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产生......
针对金刚线切割多晶硅制绒后硅片反射率偏高且切割纹难以去除等问题，采用酸性湿法刻蚀预处理再结合低成本的金属铜辅助化学刻蚀成功......
