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FSI国际推出采用其MAGELLAN~浸泡式清洗系统的新型氮化硅选择性蚀刻工艺
FSI国际有限公司于2006年11月27日宣布,推出全新的选择性氮化物蚀刻工艺。该工艺采用FSI国际的MAGELLAN浸泡式清洗系统,可以抑制......
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