全刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

全刻蚀相关论文

RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进

通过对传统的RF MEMS开关采取在信号线上电镀桥墩、改进桥梁的形状以及在桥背面设计接触点的新颖方法，使得RF MEMS开关的下拉电压减......

期刊

射频微机械开关聚酰亚胺全刻蚀半刻蚀 RF MEMS switch polyimide full etching partial etching

基于亚波长结构的硅基垂直光栅耦合器研究

近年来,绝缘衬底上的硅(SOI)被业内公认为是一种非常有潜力的,能够实现大规模、高密度光电子集成电路(PICs)的新材料。然而在高度......

学位

绝缘衬底上的硅光栅耦合器等效介质理论啁啾全刻蚀亚波长光栅光子晶体

看过本文同时还关注