Bulk Micromegas探测器是一种新型微结构气体探测器.利用光蚀刻技术制作了有效面积为10 cm×10 cm的多通道Bulk M icromegas探测器......

在一个芯片大批量上市以前,首先必须保证可以生产并有适当的成品率.为了满足90nm及以下技术制造的要求,必须采用新的方法弥补设计......

基因芯片又称DNA微矩阵,是一种分析大量复杂生物样品的有效工具.它可以通过光引导聚合技术、电压打印或人工直接点样制备.光蚀刻技......