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同步辐射双晶单色器平行度测量方法研究
针对上海光源(SSRF)光束线建设和晶体单色器须进行双晶晶体表面(晶面)平行度离线测量的需求,探讨了利用十字位相板改进后光笔干涉仪法......
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双晶单色器
平行度
光笔干涉仪
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