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光电子集成器件相关论文
掺杂SiC薄膜的结构及物性研究
SiC作为一种优秀的微电子材料,以其禁带宽、饱和电子漂移速度大、临界雪崩击穿电场高和热导高的特点,在大功率、高频、耐高温、抗......
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Cr掺杂
SiC薄膜
微结构
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基于硅二维光子晶体和周期介质波导的无源器件
光子晶体和周期介质波导是设计和制作光子器件的新型结构。基于这两种结构的各种光子器件凭借超高的结构紧凑度和优越的传输性能已......
学位
光子晶体
周期介质波导
光子器件
无源器件
集成光子学
传输性能
单晶硅
光电子集成器件
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