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低温金属诱导横向晶化多晶硅材料和器件技术
使用金属镍诱导非晶硅晶化(MIC:metal-induced crystallization)技术,获得了低温(<550℃)多晶硅.通常在镍覆盖区以外的晶化硅更加有......
期刊
镍
金属诱导晶化
多晶硅
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显示器
低温电子技术
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polycrystallin
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