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传统退火炉子相关论文

常规退火与光退火固相晶化的对比

为研究传统炉子退火与光退火固相晶化的不同特点,用石英玻璃作衬底,在室温、350℃和450℃下用PECVD法直接沉积非晶硅(a-Si:H)薄膜,......

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PECVD法非晶硅薄膜传统退火炉子光退火晶粒大小拉曼光谱 XRD SEM PECVD a-Si ： H film conventional furna

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