二维风速传感器相关论文
给出了一种完全基于CM O S工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作......
给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制......
随着CMOS MEMS工艺的进步,人们努力尝试采用这种工艺来制作传感器,这种传感器体积小、功耗低、灵敏度高、携带方便;而且可以批量生产......
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片......