乙硅烷相关论文
CO2是最重要的可再生碳源之一.为了将CO2转化为有用的有机化合物,我们研究了二种模型硅基“废”材料—乙硅烷和硅粉的反应活性.在......
探讨8种常见单取代乙硅烷交叉式（R-Si_2H_5）和重叠式稳定性差异的物理作用本质。尝试采用密度泛函理论（DFT/B3LYP）优化分子骨架结构,结......
以含有Si-O-Si键及si—Si键的物质为原料，采用气相法制备低比表面积纳米二氧化硅。考察不同分子结构对最终样品粒度、比表面积的影......
用Mg2Si制备SiH4必然伴随产生Si2H6.经二级低温冷凝 ,分子筛吸附和恒温恒压汽化等工艺技术过程,能够对两种气体进行最有效的分离 .......
乙硅烷是一种主要用于太阳能电池生产的电子气体，与硅烷相比具有沉积速率快、沉积温度低的优点。本实验采用卤代乙硅烷还原法制得了......
<正> 在半导体工艺中,如低压化学气相沉积法(LCVD)制备多晶硅和氮化硅薄膜,以及等离子刻蚀等工艺,都要使用特种气体。有些特种气体......
对我国半导体生产过程中几种主要特种气体的现状进行了回顾,指出了我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。......
甲苯择型选择转化催化剂该催化剂由约束指数１—３０的分子筛组成，经选择剂和甲苯处理。分子筛（最好用ＺＳＭ－５分子筛）用含硅选择剂（最好是有机硅化合......
<正> 日本三井东压化学公司1984年在大阪工业所内建了一个半导体用乙硅烷工业化生产装置,并正式投产。乙硅烷可作为半导体外延膜生......
